Flashcard: Introduction aux films minces et leurs applications — 18 carte

Films minces — définition ?

Films permettant de modifier les propriétés d’un substrat.

Miniaturisation — rôle ?

Réduction de taille tout en conservant performances.

Multifonctionnalité — concept ?

Capacité à remplir plusieurs fonctions simultanément.

Conformalité — propriété ?

Uniformité du film sur surfaces complexes.

Aspect ratio — définition ?

Rapport hauteur/largeur d’une structure.

Applications en nanoélectronique

Fabrication de dispositifs électroniques à l’échelle nanométrique.

Photonique intégrée — rôle ?

Intégration de composants optiques sur une puce.

Coatings biomédicaux — utilisation ?

Films pour implants, assurant compatibilité et durabilité.

Wide Bandgap Semiconductors — exemple ?

GaN, permettant dispositifs à haute efficacité.

Revêtements durs — but ?

Augmenter résistance à l’usure et corrosion.

Dépôt en phase vapeur — principe ?

Matériaux déposés sous forme de vapeur sur un substrat.

PVD — méthode ?

Évaporation ou sputtering physique.

CVD — méthode ?

Réactions chimiques en phase vapeur.

Conformalité en dépôt — importance ?

Crucial pour structures 3D complexes.

Hot Wire CVD — principe ?

Activation par filament chauffé sans plasma.

Réacteur hot-wall — caractéristique ?

Chambre chauffée uniformément, risque de dépôt sur parois.

Réacteur cold-wall — avantage ?

Chauffe uniquement le substrat, limitant dépôts parasites.

Modélisation thermodynamique — objectif ?

Prédire stabilité et phases des matériaux.